在線式高速噴射晶圓點膠機是一種用于在線式生產(chǎn)中加工晶圓的設(shè)備，也稱為絲印機或噴墨打印機。其工作原理是通過高速噴射的膠水來將保護層涂覆在晶圓表面，以保護晶圓并增加其導(dǎo)電性。

在線式高速噴射晶圓點膠機的主要組成部分包括：

晶圓涂覆系統(tǒng)：用于將膠水從噴嘴中噴射到晶圓表面。

控制系統(tǒng)：用于控制噴射系統(tǒng)的運行和參數(shù)設(shè)置。

原料供應(yīng)系統(tǒng)：用于提供膠水和其他原料。

廢液收集系統(tǒng)：用于收集廢液并回收利用。

在線式高速噴射晶圓點膠機的工作流程：

將晶圓放入洗滌液中，去除表面的污垢。

將晶圓放入預(yù)熱后的涂覆系統(tǒng)中，將膠水從噴嘴中噴射到晶圓表面。

控制噴射系統(tǒng)的運行，以控制膠水的噴射速度和流量。

根據(jù)需要，調(diào)整膠水的濃度和粘度。

在涂覆完成后，將晶圓從涂覆系統(tǒng)中取出，并用廢液收集系統(tǒng)收集廢液。

檢查晶圓的表面質(zhì)量，并根據(jù)需要進行再次涂覆。

在線式高速噴射晶圓點膠機具有生產(chǎn)效率高、生產(chǎn)能力大、制程穩(wěn)定、易操作等優(yōu)點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體器件等領(lǐng)域的生產(chǎn)中。